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半導(dǎo)體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類：

1.普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。

2.特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。

半導(dǎo)體制造用氣體按照使用時(shí)的危險(xiǎn)性分類：

1.可燃、助燃、易然易暴氣體：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等

2.有毒氣體：AsH3、PH3 、B2H6等

3.助燃?xì)怏w：O2 、N2O、F2 、HF等

4.窒息性氣體：N2 、He 、CO2、Ar等

5.腐蝕性氣體：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等

在銷售過(guò)程中經(jīng)常會(huì)遇到客戶問(wèn)：我的場(chǎng)所存在多種可燃氣體，是不是我每一種氣體安裝一臺(tái)類型的探測(cè)器？還是安裝幾臺(tái)等等問(wèn)題，今強(qiáng)源氣體小編就給大家聊聊這個(gè)問(wèn)題。

如果現(xiàn)場(chǎng)都是易然易暴氣體，那么每一種都設(shè)置一臺(tái)報(bào)警器也不現(xiàn)實(shí)，更重要的是可燃?xì)怏w用的是一種傳感器檢測(cè)，也就是催化燃燒類型的，如果不同氣體都按照對(duì)應(yīng)來(lái)設(shè)置的話，現(xiàn)場(chǎng)會(huì)有非常大的干擾，比如甲烷，液化氣，丙烷，酯類等等易然易暴氣體，現(xiàn)場(chǎng)安裝的話設(shè)置一種即可，怎么設(shè)置呢？我們要查看每一種氣體的爆i炸極限值，取氣體蕞低的那個(gè)爆i炸極限值來(lái)設(shè)置報(bào)警器，也就是說(shuō)我們只檢測(cè)那種氣體蕞容易與空氣結(jié)合發(fā)生爆i炸，我們就針對(duì)這樣的氣體來(lái)防護(hù)即可。那么其他的氣體爆i炸極限值稍微高一些，暫時(shí)都是安全的。

針對(duì)不同的場(chǎng)所怎么設(shè)定氧氣報(bào)警儀的報(bào)警值？首先看一下有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。

1、 《電力行業(yè)缺氧危險(xiǎn)作業(yè)監(jiān)測(cè)與防護(hù)技術(shù)規(guī)范》DL/T1200-2013）

缺氧環(huán)境作業(yè)場(chǎng)所空氣中的氧含量低于19.5%的環(huán)境。6.4.1 氧含量。作業(yè)場(chǎng)所氧氣濃度應(yīng)符合GB8958的要求，不得低于19.5%。

2 、《缺氧危險(xiǎn)作業(yè)安全規(guī)程》（GB8958-2006）

缺氧作業(yè)場(chǎng)所空氣中的氧含量低于0.195的狀態(tài)。

3 、《深度冷凍法生產(chǎn)氧氣及相關(guān)氣體安全技術(shù)規(guī)程》（GB16912-2008）

進(jìn)入冷箱檢修前，應(yīng)切斷氣源，用空氣置換內(nèi)部氣體，扒出檢修部位的保溫材料，經(jīng)分析冷箱內(nèi)氧含量在19.5%～23%范圍內(nèi)，人員方可入內(nèi)。